無塵室,CLEAN-ROOM.就是壹個相對密閉的空間,並控制其中的潔凈度(壹個重要指標就是單位體積空氣中的塵埃粒子數),當然有些時候對此環境中的溫濕度,壓差,照度,噪音等參數也是要控制的.所以,更科學完整的叫法應該叫"受控環境controled environment".壹般通過圍護結構組成壹個相對密閉的空間,然後用潔凈送風機組把經過多級過濾,並調節了溫濕度的空氣通過過送風管道送入此空間(通常在送風機箱內有初效中效兩道過慮,末端有高效過濾),同時通過回風系統把空間內的空氣抽送回潔凈送風機組.當然還要混入壹定的新風,否則不斷封閉循環人會很悶甚至悶死.
建好壹個無塵車間,首先要根據實際的生產流程設定相應的功能間,同時考慮人流物流的走向和工作效率.在平面方案初步確定的基礎上,再確定潔凈區與非潔凈區,潔凈區的潔凈等級.然後確定相應的換氣次數或是截面風速.然後布置送回風口,設計潔凈送風機組(大小,位置,風機空調選型等),設計送回新風管道等.當然強弱電給排水也要設計.然後就是按圖施工
2.潔凈室的構成及註意事項
潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺壹不可的)，否則將無法構成壹完整且品質良好的潔凈室：
(1)天花板系統：包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)。
(2)空調系統：包括空氣艙、過濾器系統、風車等。
(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門。
(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。
潔凈室之建築主體構造，壹般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：
A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕；
B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性小；
D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高；
潔凈室最主要之作用在於控制產品（如矽芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在壹個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵並非100%沒有壹點灰塵，而是控制在壹個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對於光學構造而言，哪怕是壹點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。
每立方米將小於0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對於灰塵的要求高於A級，這樣的高標主要被應用在壹些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。
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