1.根據發電機的高壓頻率分為工頻(50-60Hz)、中頻(400-1000Hz)、高頻(> 1000Hz)三種。工頻發電機由於體積大，功耗高，已經基本退出市場。中高頻發生器具有體積小、功耗低、臭氧產量大等優點，是目前最常用的產品。
2.根據使用的氣體原料，有氧氣型和空氣型兩種。氧氣通常由氧氣瓶或氧氣發生器提供。空氣型通常使用清潔幹燥的壓縮空氣作為原料。因為臭氧是由氧氣產生的，而空氣中氧氣的含量只有265438±0%，所以空氣式發生器產生的臭氧濃度相對較低，而瓶裝或制氧機的氧氣純度在90%以上，所以氧氣式發生器的臭氧濃度較高。
3.按冷卻方式分，有水冷型和風冷型。臭氧發生器工作時會產生大量的熱能，需要冷卻，否則臭氧在產生的同時會因高溫而分解。水冷發電機冷卻效果好，運行穩定，無臭氧衰減，可長時間連續工作，但結構復雜，成本略高。風冷降溫效果不理想，臭氧衰減明顯。總體性能穩定的高性能臭氧發生器通常是水冷的。風冷壹般只用於臭氧產量小的中低檔臭氧發生器。在選擇發電機時，應盡量選擇水冷式。
4.按介電材料分，有石英管(玻璃的壹種)、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管、搪瓷管。目前市場上有各種介電材料制作的臭氧發生器出售，性能各不相同。玻璃介質是最早用於人工制造臭氧的材料之壹，成本低廉，性能穩定，但機械強度較差。陶瓷和玻璃類似，但是陶瓷不適合加工，尤其是大型臭氧機器。搪瓷是壹種新型的絕緣材料，具有高機械強度和高精度。廣泛應用於大中型臭氧發生器，但制造成本高。
5.根據臭氧發生器的結構，有DBD式和開放式兩種。間隙放電型的結構特點是臭氧在內外電極間隙產生臭氧，臭氧可以集中收集輸出，濃度高，如用於水處理。開放式發生器的電極暴露在空氣中，產生的臭氧直接擴散到空氣中。由於臭氧濃度低，通常只用於小空間的空氣消毒或壹些小物品的表面消毒。可以使用間隙放電發生器來代替開放式發生器。然而，間隙放電臭氧發生器的成本遠高於開放式臭氧發生器。
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