臭氧會進入細菌的細胞壁。空氣濕度高時,細菌的細胞壁會被軟化,臭氧容易滲入細胞壁和細胞內部,通過氧化破壞細菌膠原酶,殺死細菌。因此,當空氣濕度較高時,臭氧殺菌效果較好。
這也解釋了為什麽在車間使用臭氧發生器之前,專業人員會在地面上灑壹些水,增加車間空間的濕度,讓臭氧消毒效果更好。