靜電電容式壓力傳感器的原理是什麽？

壓力傳感器是將壓力轉換成電信號輸出的傳感器，壓力測量儀器中的電測量儀器通常稱為壓力傳感器。壓力傳感器廣泛應用於各種工業自動控制環境，涉及水利水電、鐵路運輸、智能建築、生產自動控制、航空航天、軍工、石油化工、油井、電力、船舶、機床、管道等諸多行業。壓力傳感器主要分為兩種:半導體壓敏電阻型和靜電電容式。下面分別介紹壹下它們的原理。半導體壓電電阻式:半導體壓電阻抗擴散壓力傳感器在薄片表面形成半導體變形壓力，薄片受外力(壓力)變形產生壓電阻抗效應，使阻抗變化轉化為電信號。靜電電容式:靜電電容式壓力傳感器，通過玻璃的固定電極與矽的可動電極相對形成電容，將可動電極受外力(壓力)變形引起的靜電電容的變化轉化為電信號。