第壹臺“分子篩”制氧機最早由德國林德公司制造，距今已近100年。
在中國，變壓吸附制氧技術的發展起步較早。從1966開始，研究用沸石分子篩分離空氣的技術。20世紀70年代，變壓吸附分離空氣制氧已廣泛應用於鋼鐵、冶煉和玻璃窯爐行業。20多年來，由於技術力量分散，相互缺乏聯系，我國變壓吸附制氧技術發展緩慢，與國外的差距越來越大。20世紀70年代是我國PSA空分制氧技術發展的鼎盛時期。國內已有十幾家單位先後開展了變壓吸附制氧技術的實驗研究，建立了幾套工業試驗裝置。
20世紀80年代，原從事變壓吸附制氧設備研究單位的開發項目相繼中止，我國變壓吸附制氧技術的發展再次進入低谷。
1995年，昆山金湖機械有限公司在河南洛陽鋼鐵廠建成了VPSAO 1000Nm3/h制氧機，標誌著變壓吸附正式進入我國工業領域，變壓吸附在我國發展迅速。
20世紀90年代，我國變壓吸附制氧技術發展迅速。變壓吸附制氧技術逐漸成熟，部分產品的綜合技術經濟指標接近國外先進水平。
當初制氧機的主機是單塔結構，也就是常說的第壹代發動機。第壹代發動機制氧效率低，不能循環制氧，噪音大，占地廣，需要辦理壓力容器合格證。目前，單塔制氧機已基本退出市場。隨著科技的不斷進步，雙塔多塔結構的主制氧機(第二代)已經基本普及，其制氧工藝比壹代改進了很多，可以間歇循環制氧，但仍需申請壓力容器證書。湖南特瑞醫療在國內首次引進第三代智能模塊化制氧機，氧氣濃度和精度較壹、二代機有了很大提高，可不對稱連續制氧，噪音低，占地面積小，無需壓力容器合格證。
隨著分子篩制氧技術的不斷發展，以及國家相關政策的規範和支持，大型醫療機構已經基本采用分子篩制氧機供氧，相信未來分子篩制氧機的應用會越來越廣泛。希望對妳有幫助。