□華
1919，出生於蘇州壹個名門望族，4歲隨父親來到上海。
1940期間，他在美國留學，並在美國普渡大學獲得碩士和博士學位。
65438+50年代初，隨家人回國，參與建立中國第壹個半導體實驗室，獲得多項“中國第壹”成果。1960年代，參與建立中國科學院半導體研究所，推動中國第壹臺GaAs激光器研制成功。
在1980年代，他被任命負責國內大規模集成電路及其工藝的研究。
在21世紀，中國的超大規模集成電路工業在八十年代仍然受到關註。
熟悉我國微電子技術情況的人可能都知道，這個領域有三大支柱，分別是解放初期從國外回來的三位博士、中科院院士黃昆、謝喜德、王守武。
黃昆和謝喜德分別在晶格動態散射理論和表面態物理方面取得了很大的成就，而王守武則專註於半導體器件物理，偏重於應用。今天，這三位傑出科學家的前兩位都去世了，唯壹活著的是王守武先生。與黃、謝相比，王守武知名度較低，可能與他在科研和產業化方面的實際工作有關。
今年是王老推動中國第壹臺GaAs激光器研制成功的第50個年頭，也是他作為第壹批海外歸國人員回國的第63個年頭。上世紀80年代中期，王老在上海推動集成電路產業化工作期間，筆者有幸參與接待，因此有機會結識這位業內著名的科學家。在那之後，我有幾次機會見到他，最近壹次是去年在他美國的女兒家。當時他頭腦清醒，記憶力強，聲音大，但耳朵重聽。雖然已經94歲高齡，但王老壹直關心著祖國VLSI產業的生產。
從那以後，我很想把我所知道的關於王守武院士的事情寫出來，讓更多的人知道，在中國的半導體技術和集成電路產業領域，有這樣壹位先驅。
出身名門的“海歸”
王守武，1919，蘇州人。他的父親王季同(1876~1948)是留英學者。他在1927年隨蔡元培先生籌建中央研究院，在數學和機電方面都有很深的造詣。王守武4歲隨父親來到上海，少年時期基本在蘇州和上海生活學習。
高中畢業前夕，因瘧疾反復發作，耽誤了學校的年終考試和蘇州的畢業考試。他無法進入清華、燕京等名校，只得聽從曾留學德國的大哥的建議，進入上海同濟大學德語補習班。壹年後，他回到蘇州中學參加考試，拿到高中畢業證，才正式成為同濟大學機電系的壹名學生。
1941畢業後，王守武在工廠工作了幾年，後轉到同濟大學任教。1945抗戰勝利後，滿懷“科學救國”憧憬的王守武於當年6月進入美國印第安納州普渡大學研究生院，獲得碩士學位。由於他各科成績優異，學校資助他攻讀博士學位。這時，新興的量子力學引起了王守武的興趣，於是他從工程力學轉向微觀粒子運動規律的研究，兩年後拿到博士學位後留校任教。
1949年新中國成立，特別是1950年朝鮮戰爭爆發後，身在美國的王守武急於回國。他以探望寡母為由，抓住時機，帶著在美國留學的妻子葛秀懷女士(上海)和不滿壹歲的女兒，於1950返回祖國。於是，王守武開始了他的報國生涯。
從零開始的突然襲擊
從65438年到0956年，在周恩來總理的親自領導下，中國制定了十二年科技發展長期規劃，半導體技術被列為當時四大科研重點之壹。中央有關部門決定，由黃昆、謝希德、王守武等著名學者對人才培養和開拓性研究進行突擊。
王守武在美國的學習主要集中在物理本身，但他深知半導體工作的重要性，毅然中斷了其他科研項目，投身於半導體研究，並在中科院應用物理研究所建立了中國第壹個半導體實驗室。他首先關註的是晶體管中最基本的材料鍺的制備。
在抓鍺材料提純的同時，他親自領導設計制造了我國第壹臺拉制半導體鍺材料的單晶爐，並於1957年底成功拉制出我國第壹顆鍺單晶。同年，165438+6月底至次年年初，王守武與同事合作，成功研制出國內第壹批鍺合金結晶體管，掌握了鍺單晶中的摻雜技術，可以控制鍺單晶的導電類型、電阻率、少子壽命等電學指標，滿足器件生產的要求。
1957年，林蘭英博士回國，王守武親自到她下榻的賓館，成功調動她到半導體工作組擔任材料研究組組長，具體實施矽單晶的繪制工作。在王守武、林蘭英和課題組的共同努力下，1998年7月，中國第壹塊矽單晶問世。
為了推動我國第二代(晶體管型)電子計算機的研究，在王守武等人的領導下，中國科學院1958，109成立了我國最早的晶體管廠，從事鍺高頻晶體管的批量生產。在缺乏人員和設備的情況下，全廠職工奮戰到1959年底，為109 B計算機的研制提供了12個品種和145千多個鍺晶體管，完成了這臺計算機所需器件的生產。在中國科技發展史上，很少有壹個產品，尤其是尖端科研領域的產品，能在兩年內實現從無到有的全過程。
20世紀50年代末60年代初，受國家科委和中國科學院委托，王守武開始籌建中國科學院半導體研究所。1960年9月，研究所成立，任命王守武為第壹副所長，全面負責科研管理和分支機構發展籌備工作。後來在測試設備和統壹標準方面做了大量工作，特別是在中國第壹臺GaAs激光器的研究方面，還建立了半導體測試中心。
再次受命承擔重任
文革期間，王守武受到了不公正的對待和誣蔑，但他仍不失時機地閱讀文獻，緊盯世界上飛速發展的集成電路技術。
文革後期，周總理要求中科院重視基礎理論研究。王守武立即抓住這個機會，對耿氏器件中的雪崩弛豫振蕩進行了深入的探討。相關論文在1975美國物理學會年會上宣讀，受到國外同行好評。這篇論文發表在《中國科學》上。
1978 10中科院主要領導邀請王先生負責4000位MOS隨機存儲器的研究。這是壹種大規模集成電路。需要通過40多道工序，在壹個正方形不到4×4 mm的單位矽片上，制作壹個由1.65，438+0，000多個晶體管、電阻、電容等元件組成的電子電路。如果單個工藝完整率達到95%，芯片最終的工藝完整率只有13%。很難做出有壹定成品率的樣品。
王守武從穩定工藝入手，跟隨膠片的流程，認真檢查工藝線的每道工序，要求每道工序的負責人詳細確定各自的操作程序。設定後嚴格執行，未經工藝負責人同意，不得隨意更改。
1980年，春節剛過，上級讓王守武擔任中科院109廠廠長，進行4K大規模集成電路推廣，搞集成電路生產實驗，提高良品率，降低成本。
當時世界上微處理器發展很快，計算機即將推向社會，進入家庭是壹種趨勢。因此，大規模集成電路的生產以及配套設備和基礎材料的開發成為重中之重。1983年，年過六旬的王守武再次被任命為國務院電子振興領導小組集成電路顧問組組長、國家科委半導體專業組組長，挑起了大規模集成電路爭奪戰中國家領導人的重擔。
院士當廠長
回顧王守武的經歷和貢獻，有壹個單位和職位不得不提，那就是中國第壹家半導體器件廠——中科院109廠(中科院微電子所前身)。所有介紹王守武的文字都會有這樣的表述:1958，他親自創辦了中科院109廠，實現了鍺高頻晶體管的量產。從1980到1986，兼任中國科學院109廠廠長。
院士為什麽同意當廠長？對此，中科院109廠原黨委書記張、109廠辦公廳主任曾撰文介紹:
王守武回到他20多年前創辦的109廠的直接原因，是為了確保科研成果順利轉化為生產計劃，確保已經國家批準的109廠現代化進口線建設更加先進、科學，能夠起到示範作用。更深層次的考慮是，他在分析了當時國際集成電路產業的發展趨勢和中國集成電路產業的現狀後，認為中國集成電路產業只有將手工作坊式的生產方式轉變為現代化的工業化生產方式，才有出路。進行工業化集成電路生產，生產線必須是條件穩定、設備穩定、運行穩定、技術穩定、管理科學的受控生產線。換句話說，王先生正在以對民族集成電路產業高度的責任感進行壹次全新的探索。
張和舉了壹個例子。工業生產要求純度高，必須用管道輸送。為了保證燃氣質量，王老師要求長達幾十米的輸氣管道要能抽真空，真空度要24小時不變。但管道中使用的燃氣表幾乎都有輕微漏氣，達不到這個要求。我們做什麽呢他讓大家把零件壹個個拆開，分析每個零件的作用，找出漏氣的原因，對癥下藥進行改造。最後問題解決了。
執著的“8級鉗工”
王守武學識淵博，工作壹絲不茍。他要找出壹切發生的原因，幾乎是執著的。
他對基礎輔料、超純水(純度99.99999%以上)、MOS化學試劑進行了細致的分析測試。他反復比較、修改、優化設計布局。為了提高集成電路的良率，他要求每道工序的良率要在95%以上，關鍵工序的完好率要在99%以上。
他的榜樣比他的言行更重要，壹切從自己做起。使用的設備、儀器、儀表，壹個個都經過認真的檢修和測試，進行必要的改造和創新。光刻機漏油，蒸發臺中鋁的厚度和密度性能不穩定，橢圓偏振測厚儀經常出現小故障...這些都是他在現場蹲著，甚至躺在地上查原因，換零件，壹個壹個解決造成的。
有壹款國產切片機已經廢棄很久了，老本行還需要。維修技術人員修了幾次，都修不好。王守武親自動手，分析機器的機械動作原理，控制電路各部分的作用，可能出現的問題等。，並與大家討論，鼓勵大家修復。六十多歲的他幾次和大家蹲在地上幾個小時，終於查出了問題，修好了電路，返工更換了絲杠，讓這臺老舊的設備重新煥發了青春。
這樣的例子數不勝數。以至於王守武在業內享有“8級鉗工科學家”的綽號。
他用了壹年的時間，將256位MOS RAM的最高批次良品率提升到了當時國內前所未有的水平，最高批次達到了40%。當時在亞洲僅次於日本。
難忘的“上海邊緣”
當時，上海是中國集成電路產業的主要基地，承擔了全國80%的集成電路生產。王守武那段時間經常來上海，因為他組織領導了大規模集成電路的研發和產業化。當時作者在上海的大規模集成電路戰鬥群工作，我接觸他的機會比較多。給我印象最深的是，他日夜奮戰，從不計較工作時間，總是盡力幫助年輕人，毫無保留。哪裏的困難和問題最多，哪裏就有他的身影。
265438+20世紀初，年過八旬的王老先生兩次來到上海，關心上海VLSI生產的良率、成本、質量和配套能力，深入浦東張江的“SMIC”工廠壹線，了解“貝嶺”、“先進”、“新科”等集成電路企業的情況。
當年在上海與他壹起參加大規模集成電路產業會戰的科技人員，至今仍懷念在王先生的帶領下，為民族大規模集成電路產業的發展而日夜奮戰的難忘歲月。